안녕하십니까? 한국분석기술연구소 임수진 입니다.

Si 전처리 시 발생하는 GAS의 화학식은 다음과 같습니다.

Si+4HF -> SiF4 + 2H2
Si+6HF -> H2SiF6 + 2H2

출처 : 원자분광법을 이용한 시료전처리

참고로 저희 회사에는 정기적으로 워크샵을 열고 있습니다.

시료전처리 이론 및 실습과정도 있으니 많은 관심 부탁드립니다.

-감사합니다.-
---------------원본글입니다---------------

>>Si 전처리시 발생되는 Gas의 화학식이 어떻게 될까요?
>> 흔하게 보이는 것이
>> Si + 4HF -> SiF4 + 2H2 인데요.
>> 이 식을 기본으로 전처리시 필요한 HF의 량을 예측해 보고
>> 그정도의 량을 넣어봤는데, 예측치와 상당한 차이를 보입니다.
>> Si + 6HF -> (HF)2SiF4 +2H2 의 형태를 갖는다고도 하고...
>>
>> Si 전처리 시 발생하는 GAS의 화학식이 궁금합니다.