안녕하십니까?
IrMn/SiO2/Si wafer의 구조를 가지고 있는 박막 시료입니다.
IrMn의 조성비를 구하려고 하는데, 잘 녹지않아서 고민 중입니다.
제가 처리한 방법은 Micriwave에서 HCl(10%), HF(0.1%)를 이용해서
녹이려고 했는데, 잔류물질이 남아있어 완전히 녹지 않는 것으로 생각됩니다.
원래 조성비는 Ir 80 : Mn 20 이었는데, 시료전처리후 용액을 측정한 결과 Ir 95: Mn 5정도로 나옵니다.
어떻게 해야 녹일 수있는지 알려주시면 고맙겠습니다.