Si 박막내의 P, B 도핑량 정량시 (ICP-MS) 전처리 방법

이름 : asuka3 | 작성일 : 2009.01.07 09:36 | 조회수 : 20844

안녕하세요 제가 문의 하고 싶은 사항은 웨이퍼 혹은 Glass 위에 Si 박막을 수백 A 수준으로 형성하는데 그때 B 혹은 P 로 도핑을 하게 됩니다. 어느 정도 도핑되었는지 ICP-MS로 분석하고자 하는데 전처리 방법에 대해 문의하고 싶습니다. 불산 등을 사용하여 처리하였을때 우리가 보고자 하는 B, P 외에 Si이 다량 포함되므로 ICP-MS에 넣었을 경우 설비에 무리를 주게될거같고 희석하여 사용하면 B, P 등이 검출이 안될거 같습니다. TRC 등의 문헌에는 Si을 제거했다고만 간략히 나오는데요 ICP-MS를 이용하여 분석하고자할때 B,P 외에 Si은 어떻게 제거하게되는가요?
IP : 203.244.221.***

이름   비밀번호

번호	파일	제목	이름	작성일	조회수
775		저합금강 T-Al중에 S-Al분석방법	정방식	2009.01.21	18,821
774		저합금강 T-Al중에 S-Al분석방법	AnApex	2009.01.23	19,068
773		2009년 극미량분석워크샵 관련 질문입니다	hyuna	2009.01.20	18,989
772		2009년 극미량분석워크샵 관련 질문입니다	AnApex	2009.01.21	19,843
771		중금속이온이 침투된 플라스틱 실험기구 세척법	이강희	2009.01.18	19,182
770		중금속이온이 침투된 플라스틱 실험기구 세척법	오디랩	2009.03.22	19,102
769		중금속이온이 침투된 플라스틱 실험기구 세척법	AnApex	2009.01.20	19,052
768		표준물질 인증기관에 대하여..	곤이	2009.01.16	19,295
767		표준물질 인증기관에 대하여..	AnApex	2009.01.16	20,281
766		ICP-AES 표준용액 제조	이상원	2009.01.09	21,829
765		ICP-AES 표준용액 제조	Anapex	2009.01.12	21,071
764		ICP-AES 표준용액 제조	이상원	2009.01.12	20,310
763		ICP-AES 표준용액 제조	AnApex	2009.01.12	20,378
762		ICP-AES 표준용액 제조	이상원	2009.01.14	19,844
761		화장품 성분함량...	김지은	2009.01.09	19,838
760		화장품 성분함량...	master	2009.01.12	17,237
759		토양시료의 ICP 분석을 위한 전처리 방법 문의	김지연	2009.01.07	17,448
758		토양시료의 ICP 분석을 위한 전처리 방법 문의	master	2009.01.08	18,514
757		유기인계 혼합표준용액에 관한 질문입니다	김경미	2009.01.07	18,110
756		유기인계 혼합표준용액에 관한 질문입니다	master	2009.01.08	18,513