Si 박막내의 P, B 도핑량 정량시 (ICP-MS) 전처리 방법

이름 : 이상원 | 작성일 : 2009.01.09 16:04 | 조회수 : 20541

정확한 답변이 될지 모르겠지만....휘발 시키는 방법이 있습니다.. 불산을 넣어서 Si-F 형태로 증발 시켜 Si 매트릭스를 제거 하는 방법이 있지요.. 하지만 Boron 원소의 경우에 BxFy 형태로 증발해서 Boron정량 분석이 힘들다고 알고 있습니다...착화제를 사용하여 Boron이 휘발되는 것을 막을 수 있는 방법도 있지요... 에고 분석은 참 어렵네요.. 저는 여기 까지....더 정확한 답변을 저도 기다리겠습니다..^^
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