안녕하십니까? 한국분석기술연구소 입니다.

Ir 은 백금족원소에 해당됩니다.
백금족 원소들의 특징은 왕수에는 녹지만, 간단한 산에는 잘 녹지 않습니다.
또한 SiO2 의 구조를 띤 시료들은 꼭 불산 처리를 해야한 전처리가 됩니다.

Microwave 에서 왕수와 불산을 사용해서 전처리를 해보시기 바랍니다.

* 감사합니다. *


---------------원본글입니다---------------

>>안녕하십니까?
>> IrMn/SiO2/Si wafer의 구조를 가지고 있는 박막 시료입니다.
>> IrMn의 조성비를 구하려고 하는데, 잘 녹지않아서 고민 중입니다.
>> 제가 처리한 방법은 Micriwave에서 HCl(10%), HF(0.1%)를 이용해서
>> 녹이려고 했는데, 잔류물질이 남아있어 완전히 녹지 않는 것으로 생각됩니다.
>> 원래 조성비는 Ir 80 : Mn 20 이었는데, 시료전처리후 용액을 측정한 결과 Ir 95: Mn 5정도로 나옵니다.
>> 어떻게 해야 녹일 수있는지 알려주시면 고맙겠습니다.
>>