Si 전처리시 발생되는 Gas의 화학식

이름 : Mr. Oh | 작성일 : 2008.03.17 15:10 | 조회수 : 15347

Si 전처리시 발생되는 Gas의 화학식이 어떻게 될까요? 흔하게 보이는 것이 Si + 4HF -> SiF4 + 2H2 인데요. 이 식을 기본으로 전처리시 필요한 HF의 량을 예측해 보고 그정도의 량을 넣어봤는데, 예측치와 상당한 차이를 보입니다. Si + 6HF -> (HF)2SiF4 +2H2 의 형태를 갖는다고도 하고... Si 전처리 시 발생하는 GAS의 화학식이 궁금합니다.
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