Si 전처리시 발생되는 Gas의 화학식

이름 : 임수진 | 작성일 : 2008.03.19 13:48 | 조회수 : 15623

안녕하십니까? 한국분석기술연구소 임수진 입니다. Si 전처리 시 발생하는 GAS의 화학식은 다음과 같습니다. Si+4HF -> SiF4 + 2H2 Si+6HF -> H2SiF6 + 2H2 출처 : 원자분광법을 이용한 시료전처리 참고로 저희 회사에는 정기적으로 워크샵을 열고 있습니다. 시료전처리 이론 및 실습과정도 있으니 많은 관심 부탁드립니다. -감사합니다.- ---------------원본글입니다--------------- >>Si 전처리시 발생되는 Gas의 화학식이 어떻게 될까요? >> 흔하게 보이는 것이 >> Si + 4HF -> SiF4 + 2H2 인데요. >> 이 식을 기본으로 전처리시 필요한 HF의 량을 예측해 보고 >> 그정도의 량을 넣어봤는데, 예측치와 상당한 차이를 보입니다. >> Si + 6HF -> (HF)2SiF4 +2H2 의 형태를 갖는다고도 하고... >> >> Si 전처리 시 발생하는 GAS의 화학식이 궁금합니다.
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