Si 전처리시 발생되는 Gas의 화학식

이름 : Mr. Oh | 작성일 : 2008.03.17 15:10 | 조회수 : 15345

Si 전처리시 발생되는 Gas의 화학식이 어떻게 될까요? 흔하게 보이는 것이 Si + 4HF -> SiF4 + 2H2 인데요. 이 식을 기본으로 전처리시 필요한 HF의 량을 예측해 보고 그정도의 량을 넣어봤는데, 예측치와 상당한 차이를 보입니다. Si + 6HF -> (HF)2SiF4 +2H2 의 형태를 갖는다고도 하고... Si 전처리 시 발생하는 GAS의 화학식이 궁금합니다.
IP : 211.231.196.***

이름   비밀번호

번호	파일	제목	이름	작성일	조회수
572		페로 바나듐 AL, Si , P분석방법	황완섭	2008.02.21	15,462
571		페로 바나듐 AL, Si , P분석방법	anapex	2008.02.26	14,927
570		워크샵 파일 관련 문의	권상현	2008.02.27	14,360
569		워크샵 파일 관련 문의	AnApex	2008.03.03	14,831
568		질화규소 및 PVA 전처리 방법	이상원	2008.03.03	15,148
567		질화규소 및 PVA 전처리 방법	임수진	2008.03.04	15,505
566		ㅁㅁ3492	이상원	2008.03.04	16,033
565		자료실 다운이 안되네요	박효정	2008.03.04	16,677
564		자료실 다운이 안되네요	AnApex	2008.03.04	16,867
563		Si ICP분석	심효정	2008.03.10	18,000
562		Si ICP분석	임수진	2008.03.11	17,522
561		Si ICP분석	ICP	2008.03.14	16,696
560		show ball 알류미늄 분석방법	황완섭	2008.03.12	13,319
559		show ball 알류미늄 분석방법	임수진	2008.03.13	13,389
558		SHOT BALL 알류미늄 분석방법	황완섭	2008.03.12	13,184
557		SHOT BALL 알류미늄 분석방법	임수진	2008.03.13	13,533
556		바닷물 Icp-ms관련해서 질문드립니다.	김현태	2008.03.17	13,911
555		바닷물 Icp-ms관련해서 질문드립니다.	임수진	2008.03.19	15,240
		Si 전처리시 발생되는 Gas의 화학식	Mr. Oh	2008.03.17	15,346
553		Si 전처리시 발생되는 Gas의 화학식	임수진	2008.03.19	15,624