실리콘 내의 Boron, Nickel 분석

이름 : 이상원 | 작성일 : 2009.03.05 14:43 | 조회수 : 18470

안녕하세요.. 실리콘 분석을 맡고 있는 이상원이라고 합니다. 내용이 길어질거 같으니 관심 있는 분만 읽어 주세요^^; 실리콘 내의 보론과 니켈 분석 시 생기는 문제점에 대해... 확인 차 이렇게 질문을 드립니다.. 우선 보론의 경우 불산과 반응하여 휘발 되기 때문에 마이크로웨이브와 같은 클로즈 타입에서 전처리를 진행 해야 한다고 알고 있습니다..니켈은 휘발성이 없어서 그런거 같지는 않구요 그래서 저희 회사에서 마이크로 웨이브를 구매를 해서 사용을 하였습니다. 그런데 항상 3~4n급 실리콘을 분석하다가 어느날 6n(99.9999%)급 실리콘을 분석을 진행 하게 되었는데 이상하게도 보론과 니켈값만.. 높게 측정이 되더라구요....그래서 스펙이 없는 6n 실리콘 이였기 때문에 두개의 원소만 많이 측정 되는 구나 싶었습니다. 그런데 그 다음에도..다른6N실리콘이 들어 오는 경우...이상하게도 보론(15ppm이상) 니켈(7ppm)이 측정이 되더라구요.... 이상하다 싶어서...마이크로 웨이브가 아닌...그냥 핫플레이트에서 전처리 한 후 바로 mass up 실행하여 분석을 하니.. 13ppm, 7ppm 이렇게 또 측정 되더라구요... 그래서 실리콘 표준용액 1000ppm 짜리 용액을 바로 측정을 하였습니다. 저희는 300배 희석해서 사용하기 때문에 저희가 측정하는 용액은 대략적으로 3000ppm 정도의 실리콘이 포함되어 있습니다. 그런데 이상하게도 표준용액 측정시에는 보론이나 니켈이 측정 되지 않더라구요.... 이상하다 싶어서 전처리 방법을 바꾸어서....Silicon matrix을 없애기 위해..핫플레이트 상에서 가열을 하여 불산과 질산을 모두 날린 뒤 질산 3%로 mass up을 하여 측정을 하니 ....Boron 0ppm Nickel 0ppm 이렇게 측정이 되었습니다... 보론은 휘발 되었다셈 치더라도...니켈은 왜 안나왔을까요...;;? 그래서 제가 1ppm 2ppm 표준용액을 만들어 휘발 정도를 측정하였습니다 boron 같은 경우 20~40%정도의 휘발성을 보이더군요.....Nickel 같은 경우는 휘발되지 않는 것으로 데이터가 나왔습니다. silicon matrix 의 영향은 아닌것으로 확인을 했습니다... 그런데 이상하게도 silicon matrix을 날려서 없애면 안나오는 데이터가 그냥 mass up 할 경우에는 Boron 과 니켈이 나오는거 같습니다. 정확한 답을 모르겠습니다...다른분들도 제가 예전에 했던 방법처럼 마이크로 웨이브로 진행을 해서..혹시나...이상한 데이터를 내고 있지는 않은지...; 아니면 제가 잘못생각해서 오류를 범하고 있는것인지.. 돈이 있다면...아나펙스 기관에 맡겨서 확인을 하고 싶은 문제지만.. 하루하루 생활하기 빠듯한..직장인이기에..이렇게 하소연 하듯.. 글을 올립니다..^^; (한번의 실험진행으로 글을 올리는 것은 아닙니다^^ 하도 답답해서.. 혹시나 경험이 있으신가 하고..이렇게 글을 올립니다...) 아무나..아시는 분이나 경험 있으신분...답글 간절히 부탁드립니다^^
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