HF(불산)과 질산(HNO3) 에 관하여..

이름 : 김창겸 | 작성일 : 2008.09.01 20:15 | 조회수 : 18050

안녕하세요. B&P Engineering 이라는 중소기업에 근무하고 있는 김창겸이라고 합니다. 저희 회사는 동부 하이텍이라는 반도체 회사에 협력업체로 존재하고 있는데 저희가 사용하는 화학용액에 궁금한 점이 생겨 질문 드립니다. 저희는 반도체 장비가 일정 사용 기간이 지나기 전에 분해하고 그 부품들을 세정해 다시 결합해서 장비가 안정적으로 다시 돌아갈 수 있도록 해주는 일을 합니다. 장비 분해 후, 부품에 여러 화학가스가 붙어 있는 것을 제거 해주기 위해 불산과 질산을 사용하는데 이 때 발생하는 Fume 들이 항상 Cleaner 내부와 외부를 차단하는 역할을 하는 투명창에 김이 서린것처럼 하얗게 끼어서 매번 닦아 주는 번거로움에 처해 있습니다. 생각만큼 잘 닦이지도 않고 닦는데 어느정도의 Wiper를 사용하기 때문에 비용도 어느 정도 들어갑니다. 이 Fume 들이 투명창에 접착되지 않는 방법이나 접착되더라도 쉽고 저렴하게 제거 할 수 있는 마땅한 방법이 없나 해서 질문드립니다. Fume 들의 분자식이나 원소 기호 등도 알려주셨으면 좋겠구요. 이것들과 반응시 이상 현상을 발생하지 않고 유해물질들만 따로 응고 되서 쉽게 제거 할 수 있는 그런 화학물질이 있는지 알려주셨으면 합니다. 어떠한 금속을 Cleaner 내부에 두면 투명창이 아닌 그 금속에만 접착해 그 금속만 갈아주면 된다거나 이런 간단한 해결 방법이 있을까요?? 아니면 어떠한 화학물질을 기체나 용액 상태로 Cleaner 내부에 분사했을 경우 Fume 들이 응고 되서 바닥으로 떨어진다던지.. 최대한 인체에 무해한 쪽으로 알려주시면 감사하겠습니다 ^^ 수고하세요..
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