실리콘내 불순물 분석 (한국산업규격)방법?

이름 : master | 작성일 : 2009.10.08 10:13 | 조회수 : 17664

안녕하세요? 메탈실리콘 분석방법은 각회사마다 비슷하다고 생각됩니다. 한국규격에는 나와있지 않는것 같습니다. Jounal of the Korea Chemical Society 1999, Vol.43,No 4 '실리콘 웨이퍼 중의 금속 불순물 분석을 위한 시료전처리' 위의 논문을 참고해보시기 바랍니다. 상세한 내용은 연락주시면 답변해드리겠습니다. 좋은 하루 보내시기 바랍니다. ---------------원본글입니다--------------- >>궁금한게 있어서 문의 드릴 려구요... >> >> 메탈 실리콘 분석을 하는 과정 중에서...각 회사 마다...전처리 및 분석 방법을 >> >> 정해서 하는 것으로 알고 있는데요... >> >> 실리콘 ICP 분석 및 전처리 방법 중 한국산업 규격 방법이 있는건지? >> >> 아니면 한국규격 방법이 없이 진행을 하는 것인지 궁금합니다...^-^ >> >> (찾아보니까 실리콘 원소를 직접 분석하는 것은 나와 있는데.. >> >> 실리콘 내의 불순물을 분석하는 한국산업 규격 방법은 안나와 있더라구요~) >> >>
IP : 119.203.24.***

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번호	파일	제목	이름	작성일	조회수
492		표준용액 견적 요청	(주)이노베이션실리콘	2008.06.02	13,800
491		표준용액 견적 요청	Kriat	2008.06.03	14,242
490		표준용액 견적 요청	(주)이노베이션실리콘	2008.06.03	13,265
489		분쇄용기 세척의 경우...	곤이	2008.06.03	13,504
488		분쇄용기 세척의 경우...	AnApex	2008.06.04	13,374
487		암모니아수 전처리	곤이	2008.06.11	13,204
486		암모니아수 전처리	임수진	2008.06.13	13,926
485		전처리 시약	곤이	2008.06.26	14,655
484		전처리 시약	AnApex	2008.06.27	15,116
483		전처리 시약	곤이	2008.06.30	14,710
482		분석가능 여부 문의	박정현	2008.07.02	14,394
481		분석가능 여부 문의	master	2008.07.02	14,359
480		SOG wafer 분석관련	김병국	2008.07.09	12,251
479		SOG wafer 분석관련	master	2008.07.11	12,415
478		토양내 CaO의 함량 측정 방법	강만희	2008.07.10	12,502
477		토양내 CaO의 함량 측정 방법	master	2008.07.14	12,604
476		토양내 CaO의 함량 측정 방법	오호동	2008.07.21	12,736
475		ICP분석시 검량선 농도 질문 ^^	홍성원	2008.07.15	12,999
474		ICP분석시 검량선 농도 질문 ^^	AnApex	2008.07.15	13,275
473		분석 가능여부 문의	위한철	2008.07.16	13,281