실리콘내 불순물 분석 (한국산업규격)방법?

이름 : master | 작성일 : 2009.10.08 10:13 | 조회수 : 17544

안녕하세요? 메탈실리콘 분석방법은 각회사마다 비슷하다고 생각됩니다. 한국규격에는 나와있지 않는것 같습니다. Jounal of the Korea Chemical Society 1999, Vol.43,No 4 '실리콘 웨이퍼 중의 금속 불순물 분석을 위한 시료전처리' 위의 논문을 참고해보시기 바랍니다. 상세한 내용은 연락주시면 답변해드리겠습니다. 좋은 하루 보내시기 바랍니다. ---------------원본글입니다--------------- >>궁금한게 있어서 문의 드릴 려구요... >> >> 메탈 실리콘 분석을 하는 과정 중에서...각 회사 마다...전처리 및 분석 방법을 >> >> 정해서 하는 것으로 알고 있는데요... >> >> 실리콘 ICP 분석 및 전처리 방법 중 한국산업 규격 방법이 있는건지? >> >> 아니면 한국규격 방법이 없이 진행을 하는 것인지 궁금합니다...^-^ >> >> (찾아보니까 실리콘 원소를 직접 분석하는 것은 나와 있는데.. >> >> 실리콘 내의 불순물을 분석하는 한국산업 규격 방법은 안나와 있더라구요~) >> >>
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